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    半導體超純水設備的工藝及其優勢分析
    點擊次數:497 發布時間:2018-09-25
      
      
      半導體是一種介于導體和絕緣體之間的材料,在半導體加工過程中需要使用水進行處理,該水質的要求比較高,不能含有任何離子雜質。半導體行業用超純水設備采用先進的制水技術,有效去除水中雜質,保證設備的出水水質。
      
      半導體超純水設備的工藝分析:
      
      1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
      
      2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
      
      3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
      
      半導體超純水設備各系統技術優勢:
      
      1、可去除源水中的懸浮物。能大限度地清除污垢,提高出水水質和延長工作周期。
      
      2、可以去除水中的游離余氯、除臭、除油、去色、吸附有機物雜質,保證反滲透膜的進水水質。
      
      3、采用先進的反滲透技術,利用壓力差原理去除水中的鹽類,設備的脫鹽率可達到99%左右。
      
      4、主要有不銹鋼、炭鋼和有機玻璃鋼。
      
      
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